Introduction to Micromechanisms and Microactuators
Dieses Buch bietet eine grundlegende Einführung in Mikromechanismen und Mikroaktuatoren, insbesondere in deren grundlegende Konfigurationen und Design. Dieses Buch füllt die bestehende Lücke in der veröffentlichten Literatur über die mechanischen Aspekte von Mikromechanismen. Es hilft auch dabei, spezialisierte Einführungskurse über Mikromechanismen und Mikroaktuatoren nicht als Teil von MEMS-Sensorik, sondern als mechanische Manipulationssysteme anzubieten. Das Niveau des Buches eignet sich sowohl für den Einsatz im Grundstudium als auch für einführende Graduiertenprogramme. Das Buch bietet einen Überblick über Miniaturisierung und Skalierungsgesetze, grundlegende Konstruktionsprinzipien von Mikro-Mechanismen und -Aktoren, Mikro-Fertigungsverfahren und einige zukunftsweisende Themen. Der Band enthält eine große Anzahl von Abbildungen und Illustrationen, die der Leserin und dem Leser das Verständnis erleichtern. Es wird auch für Forscherinnen und Forscher sowie Fachleute nützlich sein, die eine Einführung in das Thema suchen.