303
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Institute of Mechanism Theory, Machine Dynamics and Robotics
Eilfschornsteinstraße 18
52062 Aachen
Dynamics of Machines and Vibration isolation
Multi-Body Dynamics (MBD)
Metrology Lab (MTL)
25-11-2020
The fabrication of complex integrated circuits needed for modern electronic devices involves different processes that aim at building billions of transistors on a semiconductor substrate (e.g. silicon wafer). Photolithography is...
Read more25-11-2020
Die Herstellung von komplexen integrierten Schaltungen, die für moderne elektronische Geräte benötigt werden, umfasst verschiedene Prozesse, die darauf abzielen, Milliarden von Transistoren auf einem Halbleitersubstrat (z.B. Siliziumwafer) zu bauen. Die...
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The fabrication of complex integrated circuits needed for modern electronic devices involves different processes that aim at building billions of transistors on a semiconductor substrate (e.g. silicon wafer). Photolithography is...
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Die Herstellung von komplexen integrierten Schaltungen, die für moderne elektronische Geräte benötigt werden, umfasst verschiedene Prozesse, die darauf abzielen, Milliarden von Transistoren auf einem Halbleitersubstrat (z.B. Siliziumwafer) zu bauen. Die...
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